水素ガスを用いたダイヤモンドの電子ビーム援用化学加工(第3報) -加工形状のAFM観察-

• 谷口 淳

  東京理科大学基礎工学部

• 宮本 岩男

  東京理科大学基礎工学部

• 大野 直人

  東京理科大学基礎工学部

• 神谷 健一

  東京理科大学基礎工学部

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (1), 525-, 1998-03-05

Details

• CRID: 1571417124030101888
• NII Article ID: 10002873602
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles