圧電素子と電磁石を用いたXYθアクチュエータ

• 加藤 治奈

  愛知工業大学

• 早川 和明

  愛知工業大学

• 鳥井 昭宏

  愛知工業大学

• 植田 明照

  愛知工業大学

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (1), 540-, 1998-03-05

詳細情報

• CRID: 1570854174076674176
• NII論文ID: 10002873641
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles