圧電素子の急速変形と揺動作用を利用した位置決め機構(第2報) -位置決め補正に関する検討-

• 樋口 静一

  千葉大工

• 落合 幸夫

  千葉大工

• 戸塚 貴之

  千葉大工

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (1), 550-, 1998-03-05

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• CRID: 1572824498913652224
• NII Article ID: 10002873658
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles