走査電子顕微鏡用ナノインデンテーション装置の開発 -(第2報) 押込み深さ測定用光ファイバ干渉計の製作-

• 清野 豊

  計量研

• 中野 英俊

  計量研

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (1), 603-, 1998-03-05

詳細情報

• CRID: 1571980073983780736
• NII論文ID: 10002873819
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles