PZT圧電マイクロカンチレバーを用いた走査型力顕微鏡による加工

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998(1), 628, 1998-03-05

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    HOSAKA S.

    J. Vac. Sci. Technol. B15, 788

    被引用文献1件

  • <no title>

    ITOH T.

    Proceedings of MEMS 97, Nagoya, Japan 78

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002873879
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌 
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