結晶格子nmスケールのμmレベルの測長 (第5報 : 極低熱膨張ガラスを用いたSTMでの測定)

• 竹島 信人

  長岡技大

• 源尾 佳久

  長岡技大

• 岡 有希

  長岡技大

• 明田川 正人

  長岡技大

• 高田 孝次

  長岡技大

• 中山 義則

  日立中研

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (1), 632-, 1998-03-05

詳細情報

• CRID: 1574231873797468416
• NII論文ID: 10002873895
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles