レーザヘテロダイン干渉法による動的変位量の測定(第2報) -動特性の改善-

• 高橋 康英

  広島工大

• 秋月 啓作

  広島工大

• 長谷川 直樹

  菱光コンピュータシステム (株)

• 木曽 又一郎

  三菱電機 (株)

• 村瀬 成一

  三菱電機 (株)

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (1), 635-, 1998-03-05

Details

• CRID: 1572824498913569536
• NII Article ID: 10002873905
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles