FD-TD法による薄膜付きシリコンウエハ上微粒子からの散乱光解析

• 舛屋 一弘

  長岡技術科学大学大学院

• 秋山 伸幸

  長岡技術科学大学

• 吉田 昌弘

  長岡技術科学大学

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (1), 670-, 1998-03-05

詳細情報

• CRID: 1573387448866985728
• NII論文ID: 10002873999
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles