STM/STSによるSiウェーハ表面の金属汚染物の極微量元素分析

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998(1), 672, 1998-03-05

参考文献:  4件中 1-4件 を表示

  • <no title>

    BROCKS G.

    Phys. Rev. Lett. 70, 2786, 1993

    被引用文献6件

  • <no title>

    FEENSTRA R. M.

    Surf. Sci. 181, 295, 1987

    被引用文献22件

  • <no title>

    TROULIER N.

    Phys. Rev. B43, 1993, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    ZHU Z.

    Phys. Rev. B40, 11868, 1989

    DOI 被引用文献8件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002874004
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌 
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