精密位置決め機構と空気軸受

• 吉本 成香

  東京理科大学

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (1), 697-, 1998-03-05

Details

• CRID: 1574231873797377152
• NII Article ID: 10002874064
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles