転がり要素の非線形ばね特性が超精密位置決め制御系に与える影響

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  • CRID
    1573668923843750144
  • NII論文ID
    10002874103
  • NII書誌ID
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • CiNii Articles

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