転がり要素の非線形ばね特性が超精密位置決め制御系に与える影響
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- 精密工学会大会学術講演会講演論文集
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精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (1), 706-, 1998-03-05
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1573668923843750144
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- NII Article ID
- 10002874103
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- NII Book ID
- AN1018673X
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- CiNii Articles