超微小硬度計による薄膜の硬さ評価(第10報) -加工変質層が硬さに及ぼす影響-
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収録刊行物
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- 精密工学会大会学術講演会講演論文集
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精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (2), 71-, 1998-09-01
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1574231873797444224
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- NII論文ID
- 10002874349
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- NII書誌ID
- AN1018673X
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles