ナノラジアン角度センサの開発とその自律校正(第3報) -測定範囲の小さい角度センサの平均感度の校正法-

• 張 世宙

  東北大学

• 清野 慧

  東北大学

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (2), 81-, 1998-09-01

詳細情報

• CRID: 1570009749146786048
• NII論文ID: 10002874383
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles