2次元角度センサを用いた面内変位検出機構の開発に関する研究

• 小倉 一朗

  東北大(院)

• 清野 慧

  東北大

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (2), 82-, 1998-09-01

詳細情報

• CRID: 1571135649053628160
• NII論文ID: 10002874386
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles