レーザ後方散乱による超精密加工表面層マイクロクラック・インプロセス測定法に関する研究 -ガラス表面インデンテーションクラックによる検討-

• 高谷 裕浩

  大阪大学

• 金次 達真

  大阪大学

• 高橋 哲

  大阪大学

• 三好 隆志

  大阪大学

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (2), 84-, 1998-09-01

Details

• CRID: 1570009749146787840
• NII Article ID: 10002874391
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles