結晶格子を用いた実時間2次元変位エンコーダの開発(第2報 : 特定原子配列に沿った方向の変位測定)

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998(2), 87, 1998-09-01

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    明田川正人

    精密工学会誌 63, 108, 1997

    被引用文献2件

  • <no title>

    源尾佳久

    精密工学会春季大会予稿集 631, 1998

    被引用文献2件

  • <no title>

    POHL D. W.

    Rev. Sci. Instrum. 59, 840, 1988

    被引用文献7件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002874397
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌 
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