金属ガラスによる精密・微細構造物加工法の研究 -スパッタ法による微細構造製作とその物性-

• 秦 誠一

  東工大精研

• 佐藤 海二

  東工大精研

• 後藤 潤

  東工大大学院

• 下河辺 明

  東工大精研

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (2), 163-, 1998-09-01

詳細情報

• CRID: 1572824498913544320
• NII論文ID: 10002874626
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles