金属ガラスによる精密・微細構造物加工法の研究 -スパッタ法による微細構造製作とその物性-

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  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998(2), 163, 1998-09-01

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

  • <no title>

    KIMURA H.

    Mater, Trans., JIM 36, 890, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    井上

    金属 (3月), 51-57, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    INOUE A.

    Mater. Sci. Forum 233-234, 147-154, 1997

    被引用文献6件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002874626
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌 
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