ヘリコンスパッタ分子線源を用いたMBEによる単結晶SiC平滑面の創成に関する研究(第1報) -炭素源にC_2H_2を用いた場合-

• 古川 勇二

  東京都立大学大学院

• 諸貫 信行

  東京都立大学大学院

• 角田 陽

  東京都立大学大学院

• 森 剛一郎

  東京都立大学大学院

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (2), 225-, 1998-09-01

詳細情報

• CRID: 1573387448867014144
• NII論文ID: 10002874797
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles