ECRプラズマビームによる超薄膜DLCの形成 -傾斜機能化による機械的特性の向上及び超薄膜化-
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- 精密工学会大会学術講演会講演論文集
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精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (2), 227-, 1998-09-01
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1573105973890395008
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- NII Article ID
- 10002874802
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- NII Book ID
- AN1018673X
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- CiNii Articles