φ400ウェーハのラッピング技術の研究 -第5報 5枚ラッピング装置の特性-

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998(2), 360, 1998-09-01

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    大川

    1998年精密秋季大会

    被引用文献1件

  • <no title>

    高橋

    ひずみ測定入門, 1992

    被引用文献1件

被引用文献:  1件中 1-1件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002875196
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用 
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