STMによる水素終端化Si(001)ウェーハ表面の観察

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998(2), 420, 1998-09-01

参考文献:  4件中 1-4件 を表示

  • <no title>

    MORITA Y.

    Appl. Phys. Lett. 67, 2654, 1995

    被引用文献11件

  • <no title>

    YAU S. L.

    Appl. Phys. Lett. 66, 766, 1995

    被引用文献10件

  • <no title>

    OHMI T.

    J. Electrochem. Soc. 143, 2957, 1996

    被引用文献11件

  • <no title>

    KANAYA H.

    Appl. Phys. Lett. 67, 682, 1995

    被引用文献2件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002875369
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌 
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