粗微動位置決め機構の制御に関する研究 -2種類のインテリジェント制御法の適用-

• 佐藤 海二

  東工大精研

• 下河 辺明

  東工大精研

• 塚原 真一郎

  東工大

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (2), 452-, 1998-09-01

Details

• CRID: 1570291224123327872
• NII Article ID: 10002875455
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles