位置センサの分解能が静圧軸受テーブルの制御性へ与える影響

• 藤田 壽憲

  東京工業大学精密工学研究所

• 香川 利春

  東京工業大学精密工学研究所

• 深沢 剛

  勿来工業高校電子科

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (2), 455-, 1998-09-01

詳細情報

• CRID: 1572261548960301568
• NII論文ID: 10002875463
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles