ナノメータオーダの粒径測定機を用いたSiウェーハの洗浄による表面評価

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998(2), 512, 1998-09-01

参考文献:  7件中 1-7件 を表示

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    精密工学会誌 54, 11, 2132-2137, 1989

    被引用文献3件

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    精密工学会誌 56, 10, 1847-1852, 1990

    被引用文献3件

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    精密工学会誌 59, 7, 1121-1126, 1993

    被引用文献3件

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    1997年度精密工学会春季大会論文集 389

    被引用文献2件

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    1998年度精密工学会春季大会論文集 674

    被引用文献3件

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    1998年度関西地方定期学術講演会講演論文集

    被引用文献1件

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    OHMI T.

    J. Electrochem. Soc. 143, 2957, 1996

    DOI 被引用文献20件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002875641
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌 
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