光ヘッドを用いた2自由度傾斜センサ

• 長戸 理恵

  東京大学

• 保坂 寛

  東京大学

• 板生 清

  東京大学

• 坂本 和夫

  HOYA

Journal

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (2), 526-, 1998-09-01

Details

• CRID: 1571135649053572736
• NII Article ID: 10002875682
• NII Book ID: AN1018673X
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles