空間的縞解析法によるマイクロマシンの特性解析システムの開発

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収録刊行物

  • 精密工学会大会学術講演会講演論文集

    精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998(2), 551, 1998-09-01

参考文献:  5件中 1-5件 を表示

  • <no title>

    MALACARA D.

    Optical shop testing

    被引用文献4件

  • <no title>

    中野

    計測自動制御学会論文集 31, 4, 154, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    大阪府立産業技術総合研究所

    実習マイクロマシニングとマイクロセンサ基礎講座テキスト

    被引用文献1件

  • <no title>

    浅野

    超微細加工入門, 1989

    被引用文献1件

  • <no title>

    ARAI Y.

    J. Modern Opt. 44-4, 739-751, 1997

    DOI 被引用文献12件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002875752
  • NII書誌ID(NCID)
    AN1018673X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • データ提供元
    CJP書誌 
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