圧電素子と空気圧アクチュエータを組合わせた長ストローク精密アクチュエータ (第2報 3自由度制御システムの構成)

• 劉 永田

  東大大学院

• 樋口 俊郎

  東大工学部

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (2), 568-, 1998-09-01

詳細情報

• CRID: 1570009749146743808
• NII論文ID: 10002875795
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles