砥粒加工によるマイクロメカニカルファブリケーション技法

• 大森 整

  理化学研究所

• 山形 豊

  理化学研究所

• 守安 精

  理化学研究所

• 池 浩

  理化学研究所

• 森田 晋也

  理化学研究所

• 樋口 俊郎

  東京大学

• 増沢 隆久

  東大生研

• 加藤 照子

  理化学研究所

• 牧野内 昭武

  理化学研究所

• 安齋 正博

  理化学研究所

• 廚川 常元

  東北大学

収録刊行物

• 精密工学会大会学術講演会講演論文集

  精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (2), 585-, 1998-09-01

詳細情報

• CRID: 1572824498913748480
• NII論文ID: 10002875838
• NII書誌ID: AN1018673X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles