マイクロ非球面の超精密研削に関する研究(第4報) -砥石の誤差要因が形状精度に与える影響とその補正法の検討-
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- 精密工学会大会学術講演会講演論文集
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精密工学会大会学術講演会講演論文集 1998 (2), 589-, 1998-09-01
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1571135649053490048
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- NII Article ID
- 10002875856
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- NII Book ID
- AN1018673X
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- CiNii Articles