エキシマレーザーダブルパルス照射法による深いドーピング層の形成 Formation of Deeply Doped Layer by Excimer Laser Double-Pulse Irradiation

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  • レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan

    レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan 244, 1-5, 1997-09-24

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  • <no title>

    CAREY P. G.

    IEEE Electron Device Lett. 7, 440, 1986

    被引用文献2件

  • <no title>

    SLAOUI A.

    Appl. Phys. A 50, 479, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    TSUKAMOTO H.

    Jpn. J. Appl. Phys. 32, L967, 1993

    被引用文献3件

  • <no title>

    GOULON F.

    Appl. Phys. A 61, 655, 1995

    被引用文献1件

  • <no title>

    WILLIAMS J. S.

    Nucl. Instr. and Meth. Phys. Res. 507, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    SAYAMA H.

    Nucl. Instr. and Meth. 587, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    WOOD R. F.

    Pys. Rev. B 23, 2923, 1981

    被引用文献1件

  • <no title>

    MATSUMOTO S.

    J. Appl. Pys. 67, 7204, 1990

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    JYUMONJI M.

    Jpn.J.Appl.Phys. 34, 6878, 1995

    DOI 被引用文献3件

  • <no title>

    JYUMONJI M.

    Jpn. J. Appl. Phys. 35, 6592, 1996

    DOI 被引用文献1件

  • <no title>

    ISHIHARA R.

    Electron. Lett. 31, 1956, 1995

    DOI 被引用文献9件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002879426
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11604414
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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