Ablation of Wide Band Gap Semiconductors by VUV-UV Laser

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著者

    • ZHANG J.
    • Institute of Physical and Chemical Research(RIKEN)
    • SUGIOKA K.
    • Institute of Physical and Chemical Research(RIKEN)
    • WADA S.
    • Institute of Physical and Chemical Research(RIKEN)
    • TASHIRO H.
    • Institute of Physical and Chemical Research(RIKEN)
    • TOYODA K.
    • Department of Applied Electronics, Science University of Takyo

収録刊行物

  • レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan

    レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan 244, 15-19, 1997-09-24

参考文献:  9件中 1-9件 を表示

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    SUGIOKA K.

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    ZHANG J.

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    MORIMOTO Y.

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    SUGIOKA K.

    Appl.Surf.Sci. 109/110, 179, 1997

    DOI 被引用文献7件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002879447
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11604414
  • 本文言語コード
    ENG
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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