マルチゾーンホモジナイザによる高効率微細加工 High Efficiency Micro-Processing with a Multi-Zone Homogenizer

この論文をさがす

著者

    • 佐藤 行雄 SATO Y.
    • 三菱電機(株)先端技術総合研究所 Advanced Technology R&D Center, Mitsubishi Electric Corporation
    • 山本 達也 YAMAMOTO T.
    • 三菱電機(株)先端技術総合研究所 Advanced Technology R&D Center, Mitsubishi Electric Corporation
    • 斉藤 善夫 SAITO Y.
    • 三菱電機(株)先端技術総合研究所 Advanced Technology R&D Center, Mitsubishi Electric Corporation
    • 笹川 智広 SASAGAWA T.
    • 三菱電機(株)先端技術総合研究所 Advanced Technology R&D Center, Mitsubishi Electric Corporation
    • 井上 満夫 INOUE M.
    • 三菱電機(株)先端技術総合研究所 Advanced Technology R&D Center, Mitsubishi Electric Corporation

収録刊行物

  • レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan  

    レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan 244, 31-37, 1997-09-24 

参考文献:  2件

参考文献を見るにはログインが必要です。ユーザIDをお持ちでない方は新規登録してください。

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002879477
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11604414
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
ページトップへ