レーザー光脱離を用いた酸素放電プラズマ中の負イオン密度計測 Measurement of Negative Ion Density in Oxygen Discharge Plasmas Using Laser Photodetachment Spectroscopy

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著者

    • 松田 良信 MATSUDA Y.
    • 長崎大学工学部電気情報工学科 Department of Electrical Engineering and Computer Science, Nagasaki University
    • 永松 仁子 NAGAMATSU H.
    • 長崎大学工学部電気情報工学科 Department of Electrical Engineering and Computer Science, Nagasaki University
    • 藤山 寛 FUJIYAMA H.
    • 長崎大学工学部電気情報工学科 Department of Electrical Engineering and Computer Science, Nagasaki University

収録刊行物

  • レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan

    レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan 245, 7-12, 1997-11-21

参考文献:  8件中 1-8件 を表示

  • <no title>

    権田俊一

    薄膜応用作成ハンドブック, 1032-1036, 1995

    被引用文献1件

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    AMEMIYA H.

    Jpn. J. Appl. Phys. 29, L1712, 1990

    被引用文献4件

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    AMEMIYA H.

    Plasma Sources Sci. 1, 94, 1992

    被引用文献1件

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    BACAL M.

    Pys. Rev. Lett. 42, 1538, 1979

    被引用文献1件

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    MATSUDA Y.

    Proc. 3^<rd> Int. Conf. on Reactive Plasmas and 14^<th> Symp. on Plasma Processing, 431-432, 1997

    被引用文献1件

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    LEE L. C.

    J. Chem. Phys. 70, 1727, 1979

    被引用文献3件

  • <no title>

    ZEUNER M.

    J.Appl.Phys. 79, 9379, 1996

    DOI 被引用文献3件

  • 3. 計測とモデリング 3.1 負イオンの計測

    門田 清

    プラズマ・核融合学会誌 = Journal of plasma and fusion research 72(11), 1124-1131, 1996-11-25

    参考文献27件 被引用文献4件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002879496
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11604414
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • データ提供元
    CJP書誌 
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