短波長紫外レーザーによる石英のアブレーション加工

• 實野 孝久

  大阪大学レーザー核融合研究センター

• 三方 博成

  大阪大学レーザー核融合研究センター

• 徳村 啓雨

  ナルックス株式会社

書誌事項

タイトル別名

• Laser Ablation Processing of Quartz Glass by Deep UV Lasers

収録刊行物

• レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan

  レーザー学会研究会報告 = Reports on the Topical meeting of the Laser Society of Japan 259 29-33, 1998-12-14

詳細情報

• CRID: 1573668923844224256
• NII論文ID: 10002880136
• NII書誌ID: AA11604414
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles