原子層堆積法による新しい酸化物軟X線ミラーの開発

• 熊谷 寛

  理化学研究所

• 小林 勝太郎

  慶應義塾大学

• 飯村 康紘

  理化学研究所

• 豊田 浩一

  理化学研究所

• 小原 實

  慶應義塾大学

書誌事項

タイトル別名

• Development of Novel Oxide Soft-X-Ray Mirrors by Atomic Layer Deposition Method

収録刊行物

• レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers

  レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 17 117-, 1997-01-01

詳細情報

• CRID: 1574231873797714816
• NII論文ID: 10002882144
• NII書誌ID: AA11604265
• ISSN: 09136355
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles