原子層堆積法による新しい酸化物軟X線ミラーの開発 Development of Novel Oxide Soft-X-Ray Mirrors by Atomic Layer Deposition Method

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  • レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers

    レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 17, 117, 1997-01-01

参考文献:  5件中 1-5件 を表示

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    KUMAGAI H.

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    被引用文献9件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002882144
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11604265
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    09136355
  • データ提供元
    CJP書誌 
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