銅蒸気レーザーによる微細加工

• 岡崎 幸基

  東芝

• 向井 成彦

  東芝

• 小林 徳康

  東芝

• 佐野 雄二

  東芝

• 小長井 主税

  東芝

• 広田 圭一

  東芝FAシステムエンジニアリング

書誌事項

タイトル別名

• Micro machining with copper vapor laser

収録刊行物

• レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers

  レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 17 148-, 1997-01-01

詳細情報

• CRID: 1571135649053899264
• NII論文ID: 10002882194
• NII書誌ID: AA11604265
• ISSN: 09136355
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles