KrFエキシマレーザによる金属表面酸化皮膜層の除去

• 上原 実

  石川島播磨重工業 技術本部

• 金沢 祐孝

  石川島播磨重工業 技術本部

• 石川 克己

  石川島播磨重工業 エネルギー事業本部

書誌事項

タイトル別名

• KrF excimer laser removal of metal oxide layers.

収録刊行物

• レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers

  レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 17 149-, 1997-01-01

詳細情報

• CRID: 1571698599007324416
• NII論文ID: 10002882195
• NII書誌ID: AA11604265
• ISSN: 09136355
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles