レーザCVD法による高機能薄膜の形成

• 井上 直樹

  株式会社関西新技術研究所

• 藤井 隆満

  株式会社関西新技術研究所

• 森川 茂

  株式会社関西新技術研究所

書誌事項

タイトル別名

• Synthesis of high-functional thin films by Laser-CVD method

収録刊行物

• レーザー研究

  レーザー研究 25 (Supplement), 174-177, 1997

  一般社団法人 レーザー学会

詳細情報

• CRID: 1390282679627378944
• NII論文ID: 10002882226
• NII書誌ID: AA11604265
• DOI: 10.2184/lsj.25.supplement_174
• ISSN: 13496603
• ISSN: 03870200
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/lsj1973/25/Supplement/25_Supplement_174/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles