レーザーPVD法によるダイヤモンド状炭素成膜 (クラック発生の抑制法について)

• 鈴木 薫

  日本大学理工学部

• 中田 順治

  日本大学理工学部

書誌事項

タイトル別名

• Synthesis Technique of Diamond-like Carbon Films by Laser PVD Method (Restrain Method of Crack on DLC Films)

収録刊行物

• レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers

  レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 17 186-, 1997-01-01

詳細情報

• CRID: 1573950398820890496
• NII論文ID: 10002882247
• NII書誌ID: AA11604265
• ISSN: 09136355
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles