レーザーPVD法によるダイヤモンド状炭素成膜 (クラック発生の抑制法について)
書誌事項
- タイトル別名
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- Synthesis Technique of Diamond-like Carbon Films by Laser PVD Method (Restrain Method of Crack on DLC Films)
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収録刊行物
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- レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers
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レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 17 186-, 1997-01-01
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1573950398820890496
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- NII論文ID
- 10002882247
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- NII書誌ID
- AA11604265
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- ISSN
- 09136355
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles