単結晶3C-SiCのレジストレスパターンエッチング PHOTOCHEMICAL RESISTLESS PATTERN ETCHING OF CRISTALLINE 3C-SiC

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  • レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers

    レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 18, 130, 1998-01-01

参考文献:  3件中 1-3件 を表示

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    レーザー学会学術講演会第15年次大会

    被引用文献1件

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    レーザー学会学術講演会第16年次大会

    被引用文献2件

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    HASEGAWA K.

    Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 397, 1996

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002882863
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11604265
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    09136355
  • データ提供元
    CJP書誌 
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