単結晶3C-SiCのレジストレスパターンエッチング
書誌事項
- タイトル別名
-
- PHOTOCHEMICAL RESISTLESS PATTERN ETCHING OF CRISTALLINE 3C-SiC
この論文をさがす
収録刊行物
-
- レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers
-
レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 18 130-, 1998-01-01
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1570291224123715584
-
- NII論文ID
- 10002882863
-
- NII書誌ID
- AA11604265
-
- ISSN
- 09136355
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- CiNii Articles