レーザーアブレーション法によるホウ素過剰シリコンボランドの成膜 -XPSとXRDによるシリコンボランドの評価-

• 宇留野 武見

  日本大学大学院

• 鈴木 薫

  日本大学理工学部

• 中田 順治

  日本大学理工学部

書誌事項

タイトル別名

• Synthesis Technique of Silicon borides Films by Laser Ablation Method -Valuation of Silicon borides by XPS and XRD-

収録刊行物

• レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers

  レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 18 137-, 1998-01-01

詳細情報

• CRID: 1571417124030558080
• NII論文ID: 10002882880
• NII書誌ID: AA11604265
• ISSN: 09136355
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles