無声放電励起真空紫外希ガスエキシマランプによる有機物質の超微細加工(2) Nano-scale photo-processing of organic materials using rare gas excimer VUV lamps

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収録刊行物

  • レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers  

    レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 18, 143, 1998-01-01 

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002882888
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11604265
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    09136355
  • データ提供元
    CJP書誌 
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