短パルスCO_2レーザによるCSP個片化技術の開発

• 野口 淑恵

  三菱電機(株) 半導体基盤技術統括部

• 今村 兼次

  三菱電機(株) 半導体基盤技術統括部

• 川津 昭信

  三菱電機(株) 半導体基盤技術統括部

• 中尾 伸

  三菱電機(株) 半導体基盤技術統括部

書誌事項

タイトル別名

• Development of CSP(Chip Scale Package)Singleton Technology with Short Pulse CO_2 Laser

収録刊行物

• レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers

  レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 18 154-, 1998-01-01

詳細情報

• CRID: 1570291224123600896
• NII論文ID: 10002882907
• NII書誌ID: AA11604265
• ISSN: 09136355
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles