レーザーアブレーションを用いた透明電極用TiNの反射防止膜形成 Formation of antireflection film for TiN transparent conductor by laser ablation

この論文をさがす

著者

    • 松栄 宏明 MATSUE Hiroaki
    • 近畿大学 理工学部 電気工学科 Department of Electrical Engineering, Faculty of Science & Technology, KINKI University.
    • 久保 宇市 KUBO Uichi
    • 近畿大学 理工学部 電気工学科 Department of Electrical Engineering, Faculty of Science & Technology, KINKI University.

収録刊行物

  • レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers  

    レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 18, 155, 1998-01-01 

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002882909
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11604265
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    09136355
  • データ提供元
    CJP書誌 
ページトップへ