誘電体バリア放電エキシマランプを用いた薄膜形成

• 竹添 法隆

  Faculty of Eng., Miyazaki Univ.

• 横谷 篤至

  Faculty of Eng., Miyazaki Univ.

• 黒澤 宏

  Faculty of Eng., Miyazaki Univ.

• 佐々木 亘

  Faculty of Eng., Miyazaki Univ.

• 松野 博光

  USIO INC

• 五十嵐 龍志

  USIO INC

書誌事項

タイトル別名

• Thin Film Preparation with Dielectric-Barrier Discharge Driven Excimer lamps

収録刊行物

• レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers

  レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 18 157-, 1998-01-01

詳細情報

• CRID: 1572261548960573312
• NII論文ID: 10002882912
• NII書誌ID: AA11604265
• ISSN: 09136355
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles