レーザーPVD法によるダイヤモンド状炭素成膜 (ハイスピードカメラによるアブレーションプルムの観測)

• 井上 泰治

  日本大学大学院

• 鈴木 薫

  日本大学理工学部

• 中田 順治

  日本大学理工学部

書誌事項

タイトル別名

• Synthesis Technique of Diamond-like Carbon Films by Laser PVD Method (Observation of Ablation Plume by High Speed Camera)

収録刊行物

• レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers

  レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 18 172-, 1998-01-01

詳細情報

• CRID: 1571698599007150592
• NII論文ID: 10002882938
• NII書誌ID: AA11604265
• ISSN: 09136355
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles