酸素引き抜き反応と保護膜形成反応を同時進行させたSiO_2のレジストレス光エッチング Resistless photo etching of SiO_2 with deoxidized reaction and self growing of resist film

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  • レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers

    レーザー学会学術講演会年次大会講演予稿集 = Annual meeting, of the Laser Society of Japan digest of technical papers 18, 179, 1998-01-01

参考文献:  2件中 1-2件 を表示

  • <no title>

    KAMATA N.

    Mat. Res. Soc. Symp. Proc. 397, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    レーザー学会学術講演会第16回年次大会

    被引用文献3件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10002882950
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11604265
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    OTR
  • ISSN
    09136355
  • データ提供元
    CJP書誌 
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